【摘 要】
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由于MOSFET器件的驱动电路简单、开关速度快、无二次击穿等固有特点,广泛应用于军工产品、消费类电子、工业产品、机电设备、智能手机及其他便携式数码电子产品中。近年来随着军工设备更新换代、民品产业绿色节能等需要,MOSFET器件的优势显著,市场占有量显著增加。本论文的研究目标为IR公司的中高压功率MOSFET,仿制型号为JANTX2N6768。通过研究达到其性能。其参数指标如下:源漏击穿电压:≥40
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由于MOSFET器件的驱动电路简单、开关速度快、无二次击穿等固有特点,广泛应用于军工产品、消费类电子、工业产品、机电设备、智能手机及其他便携式数码电子产品中。近年来随着军工设备更新换代、民品产业绿色节能等需要,MOSFET器件的优势显著,市场占有量显著增加。本论文的研究目标为IR公司的中高压功率MOSFET,仿制型号为JANTX2N6768。通过研究达到其性能。其参数指标如下:源漏击穿电压:≥400V;连续漏极电流:≥14A;导通电阻≤0.3Ω;开启延迟时间(典型值)35ns;上升时间(典型值)190ns;关断延迟时间(典型值)170ns;下降时间(典型值)130ns;反向恢复时间:≤1200ns;封装形式:TO-3。论文通过对器件的物理模型、电学特性分析,对仿制样管进行解剖照相,版图绘制,进行模拟仿真;攻克终端设计技术、P-body推进技术、大电流封装技术,通过多次工艺优化试验及3次流片,达到研制要求,进而对晶圆进行中测、试封、测试及可靠性试验,与国外样管对标比较,达到静态、动态参数完全满足手册要求,且个别指标优于国外样品,源漏击穿电压可以达到800V,远高于手册指标400V。研究过程中申请专利两项“提高MOS器件击穿电压的方法及MOS器件”和“低压气相淀积Si3N4薄膜的制备方法”,目前已受理。其中“提高MOS器件击穿电压的方法及MOS器件”专利已被其他MOSFET品种采用,效果显著。
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