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随着科学技术的不断进步和发展,许多领域都对精密驱动和定位提出了更高的要求,不仅要有较高的分辨率,而且要有足够的输出力和较大的输出刚度,传统形式的驱动器已经不能满足这些要求。基于压电材料制成的压电驱动器具有惯性小、响应快、分辨率高等优点,可以满足驱动元器件小型化、微型化的要求。本课题创新性地利用压电材料作为驱动元件,设计了2套用于显微镜物镜精密调焦的压电驱动器。第一套装置利用旋转型超声电机作为动力源,驱动物镜完成精密定位的功能,实现显微镜精密调焦的目的;第二套装置利用压电叠堆作为驱动源,驱动显微镜物镜