多孔二氧化钒薄膜的磁控溅射制备和性能优化

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VO_2晶体在68℃时会发生半导体(M相)-金属相(R相)转变,相变前后近红外光(太阳辐射热的主要波段)透过率会有很大变化。基于这一特性,VO_2薄膜可应用于建筑节能镀膜玻璃,通过环境温度的变化实现对太阳光的智能调控,从而达到建筑节能的目的。VO_2薄膜在应用时存在可见光透过率和太阳光调制效率低的问题,为此,国内外学者做了大量研究,但是能够实现两项性能同时提高的报道较少。近来国外研究人员通过计算机模拟发现,将VO_2颗粒分散到电解质中或是在薄膜中引入气孔可以显著提高可见光透过率,并且不降低薄膜的热色
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