单芯片GaN基白光发光二极管的研究

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白光发光二极管(LED)是近年来发展迅速的可见光LED,因其具有节能、高效、寿命长、无污染、瞬时启动和快响应等优点,因此是LED产业中最被看好的新兴产品,广泛应用于各个领域,将成为21世纪的新一代光源--第四代固体照明光源。   本文详细阐述了LED的发展、工作原理、国内外的研究现状及应用范围。研究了单芯片GaN基白光LED的材料结构设计、外延生长、材料性能测试和版图设计。探索出一套适合实验室工艺条件的芯片制备方案,成功地制备出单芯片GaN基白光LED芯片,并进行了器件的特性测试。   本文所做的主要工作有:   1.在对外延技术进行了广泛研究的基础上,分析了单芯片GaN基白光LED外延片的材料结构,并对本论文所用的外延片进行了相关的测试和分析。   2.对单芯片GaN基白光LED进行了版图设计。   3.在实验室工艺条件下,研制出单芯片GaN基白光LED芯片。工艺包括:光刻、湿法腐蚀、干法刻蚀、PECVD淀积Si02,蒸发金属、剥离以及快速热退火。摸索出较好的湿法腐蚀、干法刻蚀、蒸发和合金等工艺参数,有效地降低了P、N电极的接触电阻,提高了芯片性能。   4.对制备好的管芯进行了封装。   5.对制备好的管芯,进行了相关的电学和光学测试,并对实验数据进行了分析与说明。
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