太阳能级硅片加工过程中重金属杂质的沾污及其清除机理的研究

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【摘要】

：

碱性清洗是新近发展起来的应用于光伏半导体行业的一种清洗工艺，利用碱性清洗液的皂化作用，乳化作用，配合超声波和机械运动，表面活性剂的使用可以获得好的清洗效果。本课题采用石墨炉原子吸收光谱（GFAAS）分析测量硅片表面金属含量，验证碱性清洗工艺对清除Cu、Fe等重金属沾污的有效性。碱性清洗液在清洗过程中可以较长时间保持一定的pH值，是因为硅片表面硅元素和清洗液中OH-发生双向的化学反应，反应平衡后，p

【作者】

：

王平

【机构】

：

河北工业大学

【发表日期】

：

2010年01期

【关键词】

：

硅片碱性清洗表面活性剂金属含量砂浆

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