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摩擦磨损是机器零部件的主要失效形式之一。为了提高零部件的性能和使用寿命,传统的方法是使用油润滑。但油润滑在一些苛刻的条件下就会失去作用,如高温、高压、高速、真空。而在这些情况下,使用固体润滑是一种有效的途径,可以显著减少材料的摩擦磨损。本文通过磁控溅射W+低温离子渗硫、磁控溅射Mo+低温离子渗硫、磁控溅射W/Mo多层膜+低温离子渗硫、磁控溅射Fe/Mo多层膜+低温离子渗硫分别在45钢和M2钢表面制备了含固体润滑剂WS2,MoS2和FeS的六类固体润滑薄膜。作为FeS薄膜的对比,本文还研究