该文采用空心阴极离子镀的方法在高速钢基体上沉积TiCN膜层,研究了反应气体C<,2>H<,2>和N<,2>的流量变化对膜层性能的影响.通过对膜层性能的综合评价,筛选出了C<,2>H<,2>/N<,2>的最佳比例,并最终确定了镀膜的最佳工艺参数.对在最佳工艺参数下制备出 的TiCN膜层进行了硬度、耐磨性、膜基结合力、抗氧化、抗盐水腐蚀等性能测试;还使用X 衍射仪、电镜、金相显微镜等对膜层进行了微观分析.结果表明:用空心阴极离子镀的方法制备TiCN膜层是完全可行的;制膜时反应气体C<,2>H<,2>/N<,2>的最佳比例为0.1;制备出 的TiCN膜层硬度高,与其体结合牢,抗氧化、抗腐蚀性强.最后,该文还对TiCN膜层的高硬度、高耐磨性、高氧化性及其界面结构进行了探讨,提出了一些自己的观点.为以后膜层的推广使用提供了实验和理论依据.