高阻AZO薄膜的制备及电学性能研究

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【摘要】

：

AZO薄膜作为一种新兴的半导体材料,一经问世便引起了科学家们的普遍关注。目前,AZO薄膜的研究重点主要集中在其透明导电方向上,国内外科研人员针对AZO透明导电薄膜的光电性能、晶体结构、镀膜技术及其相关器件的开发应用已进行了深入研究。随着薄膜研究的不断进展,发现由导体的ZnO和绝缘的Al_2O_3复合而成的AZO薄膜材料具有宽范围的电阻可调性,能够满足微通道板导电层的电阻率要求。不同于传统AZO透明

【作者】

：

关钧

【机构】

：

长春理工大学

【发表日期】

：

2018年01期

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