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由于透明导电氧化物薄膜材料有低的电阻率和在可见光范围内高的透光率等优良特性,可应用在太阳能电池、平板显示器、电磁屏蔽和气敏传感器等领域。近来,因掺Al的ZnO薄膜(即ZAO薄膜)与ITO薄膜有着相似的光电特性,且ZAO薄膜成本低和稳定性好等优点,已成为取代ITO薄膜的最佳选择。本文采用溶胶-凝胶法制备掺杂ZAO透明导电薄膜,并在ZAO溶胶中添加纳米粉体形成ZAOp/ZAO溶胶体系,采用浸渍-提拉法制备掺ZAO纳米粉的ZAO透明导电薄膜,即ZAOp/ZAO薄膜。采用UV/VIS分光光度计、SZT-2四