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激光晶体重量的精确测量是激光晶体生长过程中的关键性环节,激光晶体等径控制通过测量晶体重量来间接计算直径,利用晶体重量的变化率有效控制晶体生长直径。针对激光晶体生长过程中的机械振动、电机提拉和旋转运动、电气信号干扰、生长炉温度变化、气体流动以及激光晶体生长固熔界面张力波动等影响因素导致晶体重量测量不准确的问题,对激光晶体称重装置进行研究和设计。主要从称重装置机械结构设计、称重电子单元设计等两个方面对高精度称重装置进行研究与设计。在称重机械结构设计中,考虑称重装置对称重过程稳定性和精密性的要求,设计了一