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本文尝试利用模具,采用磁控溅射法在PZT基体上溅射沉积不连续的NiTi SMA薄膜,600℃晶化处理后,制得以PZT为基体沉积不连续NiTi SMA薄膜的试样。运用SEM、XRD及EDX等手段研究了所制备材料的显微组织结构、物相组成及成分分布特征;采用显微硬度计,维氏硬度计以及动态弹性模量测试仪测试了试样NiTi SMA薄膜与PZT基体之间结合力,断裂韧性及阻尼性能;使用ZJ-3A型准态仪、Automatic LCR Meter4225测试试样的介电性能。实验结果表明,使用模具控制沉积出