光刻机是大型集成电路装备中的核心设备，能否独立研制高端光刻机直接体现了一个国家的制造技术水平及能力。双工件台系统是光刻机的关键子系统，其可靠性高低直接决定着光刻机的可靠性水平。事实表明，缺乏性能可靠的精密工件台已成为限制我国光刻机研制水平发展的重要因素。如此看来，提高国产精密工件台的可靠性水平已是迫在眉睫，针对这一现状，本文重点研究了双工件台系统的可靠性分配和预计技术，主要开展了以下几个方面的研究工作：（1）结合可靠性工作的特点对双工件台系统进行层次划分，明确其各部分组成及功能，为可靠性分配与预计工作的进一步展开打下基础。（2）分析双工件台系统可靠性分配过程中存在的问题，结合其自身特点，建立可靠性分配流程；对比工程中常用的可靠性分配方法，说明各方法的优劣性；针对双工件台系统分配过程中因缺乏相关可靠性数据而导致主观不确定性过强的缺点，提出一种综合考虑多种权重的可靠性分配方法对其进行可靠性分配，该方法在层次分析法的基础上，引入三角模糊数描述专家评判过程中的模糊性，并考虑专家权重，相比传统方法其分配结果更加合理。（3）在分析双工件台系统自身特点的基础上，对硅片台可靠性预计模型进行简化，建立简化模型；针对其可靠性数据缺乏的特点，提出一种改进的相似产品类比论证法对其组成部件进行可靠性预计，该预计方法在传统相似产品类比论证法的基础上，综合考虑评判专家权重，并利用专家评价结果与已知故障率比之间的差异系数对预计结果进行修正，相比传统方法预计结果更加精确。