碳化硅陶瓷具有高强度和硬度、高弹性模量、低密度、良好的导热性和低膨胀性等优点,在石油,化工,航空航天,汽车等工业领域得到了广泛应用,但由于脆性大而在精密及超精密加工中难以达到良好的精度及表面质量,同时生产效率低,生产成本过高,而金刚石超精密磨削加工技术的发展使碳化硅陶瓷及其他工程结构陶瓷和硬脆材料有了更大的应用前景。本文首先对碳化硅陶瓷的应用进行了系统的分析,从材料制备、基本性能、应用及精密加工技术进行了整体分析,然后对碳化硅陶瓷的晶体结构和显微缺陷进行了分析,并对碳化硅磨削加工的去除机理进行了理论分析,最后通过单磨粒金刚石刻划加工和金刚石精密磨削实验研究对碳化硅的精密磨削机理进行了分析。通过理论分析与实验研究,对单点刻划时碳化硅材料的去除机理和刻划表面形成机理进行了深入的分析,对比分析了材料去除的三种模式:以挤压、碎裂、崩碎为主的脆性断裂去除模式,以耕犁、刻划为主的塑性剪切成形模式及压应力状态下表层晶粒细化的粉末化去除模式。通过分析碳化硅的精密磨削表面形貌特征及磨削力的特点,对碳化硅材料基于大磨粒金刚石砂轮磨削的加工性能、机理及工艺问题进行了讨论分析,验证了经过精密修整的大磨粒金刚石砂轮在碳化硅精密磨削中的可行性,为碳化硅陶瓷及其它硬脆材料的精密高效加工打下了理论和实验基础。