复合量程微加速度计抗高过载技术研究

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随着MEMS技术的广泛应用,加速度计阵列研究已经成为MEMS器件研究的重要研究方向。复合量程加速度计是覆盖0-10g到0-1万g的加速度计阵列,应用领域涉及到工业,国防等社会生活的许多方面。在高过载环境下复合量程加速度计应用还存在着需要解决的问题:1.在测量高g值加速度时,复合量程加速度计低量程模块正常。2.复合量程加速度计的封装抗高过载能力不能满足复合量程加速度计正常工作。3.复合量程加速度计在多次高过载冲击下性能的稳定性差。本文通过对复合量程加速度计的抗过载能力测试,分析复合量程加速度计在高过载环境中存在的问题,提出适合提高复合量程加速度计抗高过载性能的解决方案。对优化后的复合量程加速度计测试表明所设计的加速度计结构和封装具有可行性和适用性,能够很好地满足复合量程加速度计在高过载环境下工作要求。论文中分析复合量程加速度计高过载环境下失效机理。并对复合量程加速度计进行大量实验测试,分析出在过载环境下出现的问题。结合理论分析提出复合量程加速度计结构优化方案和封装结构优化设计方案。对优化后的结构使用ANSYS有限元软件进行仿真分析,结果表明复合量程加速度计结构抗过载能力提高,能够满足2万g抗过载要求。针对复合量程加速度计在实验测试中封装出现的问题,重新设计加速度计封装,使用有限元方法进行仿真分析管壳,贴片胶及灌封胶对复合量程加速度计封装的影响,并确定封装结构参数。试验测试结果表明优化后的复合量程加速度计抗过载能力有了明显提高,能过满足2万g加速度过载的要求。
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