当下,制造业在先进的科学技术不断发展的推动下朝着精密化的方向不断进步,而如何提高数控机床的加工精度、减小加工误差成了各界人士的关注重心。而在其中,数控机床的热误差占到总误差的40%～70%,所以对于热误差的测量及补偿成为十分必要的研究课题。在一些复杂精密的零件加工中,由于机床热变形的缘故导致工件误差甚至达到了上百微米,可见热误差对精密加工的影响巨大。经过调研国内外的相关资料,目前最为经济可用的热误差消除方法就是通过软件补偿实时调整机床加工刀具的位置来减小热误差对加工工件尺寸的影响,而软件补偿关键环节就是热误差模型的建立,这就需要极为精确地获得机床的热变形量,为建立准确的热误差模型奠定基础。目前国际上高档机床的热误差测量方式主要是利用激光干涉仪进行测量,毋庸置疑激光干涉仪的测量精度极高,但是其造价昂贵,安装工序复杂且对于实验进行的测量环境要求高,因此,本文对国内外数控机床热误差测量系统进行了分析和对比,提出了基于电涡流传感器和国际常用的“五点法”测量方案的热误差测量系统。通过软硬件结合的方法确保了电涡流传感器的测量精度并对其非线性问题进行了有效的校正方法。并最终将方案应用于台中精机立式数控加工中心,经过实验验证,本系统可以高效可靠实时地采集数控机床热误差量,为后续热误差补偿的理论研究提供了有力的支持。