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微机电系统(MEMS)是本世纪重要的科技技术之一,广泛地应用于社会发展的各个领域。微悬臂梁作为微机电系统中基本结构器件,其优化设计显得极其重要。微悬臂梁具有多耦合性,非线性的特点,以往对它的多参数仿真设计求解方法费用高、速度慢、求解精度不足。因此,在微机电器件设计过程中,寻求针对微悬臂梁的高精度、高经济效益、快速的优化求解方法显得越来越重要。在微悬臂梁设计求解过程中,通常采用实验法,仿真法等。随着微电子技术的快速发展,微机电器件参数的优化设计空间的要求越来越高,目前的仿真求解方法对寻求器件参数的设计