表面等离激元(Surface Plasmons Polaritons,SPPs)是在外加的高频的电磁场作用下,由金属和介质交界面上的电子发生的一种集体震荡行为,并以疏密波的形式沿金属表面传输。表面等离激元能够被束缚在金属与介质的表面,克服光波的衍射极限,进而成为制作纳米级光波导回路,以及实现光学器件微型化、集成化的重要途径之一。金属-介质-金属(MIM)波导结构能够传输表面等离子激元,并且由于MIM波导结构简单易于制作,以及对表面等离激元有着强力的束缚性。因此,金属-介质-金属波导结构引起了众多研究人员的注意。本文提出了一种新型MIM(Metal-Insulator-Metal,金属-介质-金属)等离子光波导与二维介质平板波导耦合器结构,该结构通过利用波导接口处的谐振效应来增大波导之间的耦合效率,降低传输损耗。采用有限元法对波导耦合结构进行了数值计算,结果表明,当入射波长λ=1.55μm时,在MIM波导一侧引入宽度为50 nm、深度为420 nm的谐振腔,耦合效率比传统的耦合结构模型能够提高20%-30%。此外在MIM波导的两侧引入一组谐振腔时,可以保证透射效率的同时使透射主峰的谱宽收窄;最后,当两侧的谐振腔发生水平移位时,透射率会随两谐振腔间距的增加而发生减小。通过波导结构中的模场分析,基于类F-P谐振效应解释了波导结构中透射率提升的物理机理。本文的研究结果为实现介质波导与表面等离激元的高效耦合提供了有价值参考。