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本论文从理论出发，系统地阐述了阳极键合的原理、表面清洗和表面处理工艺等基础理论。
在对键合机理的研究基础上，用氧等离子体和亲水处理样品表面，在220℃的低温下实现了低温阳极键合，而目前，普遍采用离子注入、离子交换、离子表面化、制作特种玻璃等方法，才能实现这个温度的低温阳极键合。
本论文还介绍了真空阳极键合设备的设计。并且提出了能使阳极键合和表面活化键合在一个平台实现的系统，给出了设计参数，目前设计方案正在实施中。