高频BaAl2Si2O8陶瓷基板的收缩率调控机理与低温烧结研究

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本文采用传统的固相烧结法制备BaAl2Si2O8(BAS)基陶瓷,并研究其收缩率调控机理和低温烧结工艺。使用无水乙醇作为球磨分散剂时BaCO3、Al2O3和SiO2原料不能充分混合均匀,预烧粉末中含有少量BaCO3导致烧结陶瓷中含有大量气孔,收缩率为负值。使用去离子水作为球磨分散剂,原料混合较均匀,制备的陶瓷较致密,收缩率较大。使用粒径较小的Al2O3原料(YFA-12G型Al2O3),由于粉体蓬松,可以获得较小的收缩率。Al2O3原料(国药Al2O3)含有不均匀的、低活性的成分可以使BAS陶瓷获得中等的收缩率。使用粒径均匀、尺寸中等的Al2O3原料(YFA-13G型Al2O3)可以获得致密、高收缩率的BaAl2Si2O8陶瓷,同时获得最佳的微波介电性能。εr=6.51,Q·f=49614GHz,τf=-51.8ppm/℃。向BaAl2Si2O8陶瓷中加入大量Li2CO3(410wt%),BaAl2Si2O8完全由六方相转变为单斜相,Li元素固溶在单斜钡长石相中,同时引入少量杂相。随着Li2CO3添加量的增加,陶瓷熔点降低,烧结温度也随之降低。随着Li2CO3添加量的增加,陶瓷Q·f值降低。当Li2CO3添加量为10wt%时,在1100℃下烧结有较好的微波介电性能:εr=6.37,Q·f=13122GHz,τf=-60.7ppm/℃。向低温烧结BAS基陶瓷中添加TiO2调节材料的谐振频率温度系数。TiO2并没有单独成相,而是固溶在单斜钡长石中。TiO2能促进晶粒生长,烧结温度略有降低,Q·f值有所提高。介电常数(εr)随着TiO2添加量的增加而增加。Q·f值随TiO2添加量先增大后减小,在TiO2添加量为12wt%时最大。随着TiO2量的增加,τf值向正值移动逐渐逼近零值,添加量为12wt%时τf最接近零值,并获得最佳的微波介电性能,εr=7.68,Q·f=15605GHz,τf=-18.5ppm/℃。
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