随着半导体工业的飞速发展,集成电路芯片种类越来越多,精度要求越来越高,晶圆尺寸也越来越大,对划片机控制软件要求也越来越高,需要控制软件做到界面友好,操作简单,灵活性强,兼容性高,还需要具备自动识别对准功能,同时最重要的是要求软件能够提高划切效率和划切精度。本文以全自动划片机的控制软件设计为目标,文中确定了软件的整体设计方案和模块化设计思路,通过面向对象的编程技术完成控制软件设计,研究内容主要包括以下几个方面:(1)进行软件功能的定制。结合晶圆生产工艺需要、划片机的工作原理和结构组成,进行控制软件的需求分析,采用面向对象的程序设计语言C#在Windows7平台下进行控制程序的开发,可根据客户的要求,方便增加和定制特殊功能。(2)进行软件模块的划分。采用模块化设计方法,设计出多个相对独立的功能单元,在主控单元模块的协调下,相互配合实现各种功能。主要包括有数据管理、运动控制、图像处理、人机交互、故障处理、误差补偿、多线程控制。(3)进行软件结构的设计。控制系统采用主从式控制结构,工业控制计算机作为上位控制单元,以Pmac运动控制卡、图像采集卡、光源控制器作为下位控制单元。通过调用运动控制卡库函数和视觉系统库函数分别进行运动控制指令和图像处理指令的编写,以及进行串口通信程序指令的编写,并将它们整合到控制软件中。(4)根据编程语言特点编写软件。采用面向对象的数据结构化设计和类模板编程方法,实现了划片机软件对于加工材料工艺参数变化的良好适应能力,针对不同材料可以方便地进行参数的填写以适应复杂的加工工艺要求。本文研究的控制软件已应用于全自动划片机上,该划片机已投入生产使用,主要用于LED、IC、晶圆的切割加工,能够满足半导体用户方便、可靠、高效的使用需求。同时,这款设备还能够进行玻璃、陶瓷、蓝宝石的划切,具有良好的市场应用前景。