随着对成像质量要求的逐渐提高,以及新的研究领域的应用需求,如人眼成像和天文观测,目前常见的压电变形镜的行程有时很难满足其实验需求。同时,压电陶瓷存在的迟滞特性影响着系统的高质量成像,成本问题也限制了其在民用方面的发展。因此,有必要对低成本、大行程变形镜开展一些探索研究工作。通过调研文献发现,基于音圈电机驱动变形镜具有大行程、定位速度快等优点。国外基于音圈电机驱动的变形次镜技术和薄膜变形镜技术已基本成熟,目前已有多个应用于天文观察、人眼成像的成功案例。所以,可以探索基于音圈电机驱动的大行程变形镜技术。结合实验室成熟的压电变形镜研制技术,决定将压电陶瓷替换为音圈电机,开展基于音圈电机变形镜的技术探索。本文的全部工作,主要是为了探索研制音圈电机变形镜具体流程及方法,掌握音圈电机驱动的基本特性,从实物层面验证音圈电机变形镜技术的可行性和应用范围。本论文的工作内容主要包括:(1)利用有限元分析软件建立三角形、正方形、环形三种排布方案61单元音圈电机变形镜模型,对比分析三种方案对低阶畸变波前的拟合能力,从仿真实验角度验证方案的可行性和应用范围;(2)结合非接触式力驱动的特点,在压电变形镜驱动电压求解方法的基础上,优化力驱动式变形镜的驱动力求解方法,以降低系统功耗,提升拟合精度;(3)设计、加工了音圈电机变形镜样镜,测试分析了驱动器基本性能,从数值仿真和实验两方面分析了样镜对离焦、像散的拟合能力。建模仿真、较少单元数音圈电机变形镜的样镜研制和性能测试让我们了解新器件的基本特性,验证方案了的基本可行性,将为后续的多单元研制提供理论基础和经验参考。