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氮化硼是近年来所研究的新型宽带半导体材料中一种性能优异，极具发展潜力和广泛应用前景的合成材料。它具有优异的热稳定性、化学惰性，很高的热导率，宽达6.0eV以上的光学带隙，非常适用于高温、大功率、抗辐射等特殊技术领域。氮化硼薄膜材料的制备及其紫外光敏性能研究，是近年来宽禁带半导体材料研究的热点课题，对紫外波段信息探测领域的发展有重大意义。 本实验以氮化硼薄膜在紫外空间光探测器件—紫外液晶光阀中的实际应用为出发点，以独立设计搭建的钟罩式热丝辅助电容耦合射频等离子体增强化学气相