低频振动对高精度测量有着不利影响,现有的被动隔振技术无法有效抑制低频振动,而精确测量振动是实现主动隔振技术的前提。为了实现低频微小振动的精确测量,研制了一种低频高灵敏度光学加速度计。本文主要完成了以下几项工作:1、设计了基于四象限光电感测器的光学加速度计。该光学加速度计主要由两部分组成:由质量块和簧片组成的感测单元和基于四象限光电探测器（QPD）的传感单元。2、优化了光学加速度计感测单元的参数。在分析和仿真的基础上确定了感测单元合适的材料和结构参数。根据QPD的输出特性设计了I/V转换电路、加减运算电路和低通滤波电路,实现对加速度计输出信号的处理。3、为了实现低频高灵敏度光学加速度计的参数标定,研制了一款低成本、高精度的振动台。在振动台的设计中选用压电致动器作为激振器,设计了基于铍青铜的簧片作为弹性支承。选取了合适的运放芯片PA92,设计了可以输出大电流的容性负载放大电路。4、测试了振动台的性能参数,实验结果表明:此振动台可在0.6-50 Hz的频率范围内稳定输出振动信号,振幅分辨率为3.1 nm,加速度输出范围为3.72 mm/s~2-1.9 m/s~2,以及重复输出的相对标准偏差小于1.79%。5、以低频微振幅振动台作为振源,高精度电涡流传感器作为参考传感器,对所研制加速度计进行了标定和误差分析。结果表明:此光学加速度计的灵敏度为1.74V/(m·s-2),测量范围为0.003-7.29 m/s~2,频率响应范围为0.4-12 Hz,示值误差小于2×10-3 m/s~2,十次重复测量的标准偏差小于7.9×10-4 m/s~2。因此,此光学加速度计可以应用于低频微小振动的检测。