钛酸锶钡铁电薄膜的制备及微细加工

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【摘要】

：

钛酸锶钡(BST)系薄膜由于其在IC-Capacitors，VLSI-DRAMs、FRAM等电容存储器，红外热释电成像器件等诸多领域的潜在应用价值，成为目前国内外铁电薄膜研究的热点。本文采用Sol-Gel工艺，在Pt／TiO_2／Si和ITO／Glass不同衬底上成功的制备了呈钙钛矿四方相结构，室温下具有优良铁电、介电性能的BST薄膜。讨论了热处理工艺参数，底电极材料，Ba、Sr组分比三个基本因素

【作者】

：

李莺

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2006年03期

【关键词】

：

BST 溶胶-凝胶铁电、介电性能感光性微细加工

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