大口径主镜薄膜制备及其特性研究

来源 :中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) | 被引量 : 3次 | 上传用户:wuchen112
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大口径主镜是大型光学系统的核心元件,如大型天文望远镜,其空间分辨率和聚光能力主要与主镜直径密切相关。随着科学研究发展的需要,大型光学系统的需求日益突出,主镜口径越来越大。大口径主镜不仅制造工艺困难,造价昂贵,而且主镜薄膜的制备也是非常重要和十分困难的。通常,主镜膜层需要满足两个要求:1)宽光谱带高反射率,即宽观测波段范围内薄膜具备尽可能高的反射率;2)长使用寿命,且便于日常维护和重新脱膜镀膜。此外,镀膜过程中主镜面型的控制也十分关键。金属银(Ag)以其优异的光谱特性成为了主镜镀膜领域最引人关注的材料,如何制备光学性能优、环境稳定性好、使用寿命长的银反射镜一直是大口径主镜镀膜的技术挑战。本文分别以磁控溅射和热蒸发为技术手段,开展了镜面向上放置、向下溅射和蒸发制备银基高反射镜的技术研究。本文以磁控溅射镀膜机为实验平台,系统地开展了磁控溅射制备四层结构(Sub/NiCrNx/Ag/NiCrNx/SiNx/Air)银反射镜工艺实验研究。针对溅射制备的该膜系样品容易出现短波反射率偏低的特点,提出了一种新的制备工艺,即使用一定比例Ar/N2溅射银靶,优化相关工艺参数后制备出了环境稳定性优、光谱反射率高的银反射镜样品。此外,本文还对NiCrNx过渡层和SiNx的厚度进行了优化。针对银反射镜的环境稳定性问题,本文采用多种表征手段研究了四层结构银反射镜样品光谱性能和表面形貌随加速环境试验(湿热试验和盐雾试验)的演变规律,提出了一种基于透过率测量定量表征金属膜环境稳定性的方法,深入分析了银基反射镜的腐蚀机理。通过分析不同厚度SiNx保护层银反射镜样品反射率随盐雾试验时间的演变规律,发现了样品SiNx保护层厚度随盐雾试验时间的延长而逐渐减薄的规律,并设计相关实验验证了这一现象。根据大口径磁控溅射镀膜机的特点,建立了相应的膜厚分布物理模型,理论分析了不同曲率主镜表面的膜厚分布,并设计了合适的修正挡板校正其膜厚均匀性。此外,根据曲面主镜镀膜的特点,分析计算了镀制不同曲率主镜时靶材放置的最优倾角。本文以ZZS3200大型高真空镀膜机为实验平台,开展了主镜镜面向上放置、向下蒸发镀膜材料制备银基高反射镜的工艺研究。结合逆向热蒸发的技术特点,设计了合适的蒸发舟实现了金属银的稳定可控、高速向下蒸发,选择合适的粘着层和保护层材料,成功制备了银加介质保护高反射镜样品,在主镜镀膜领域取得了一定的技术突破。此外,选择低熔点、升华型材料及合适的蒸发舟,开展了逆向热蒸发制备银加介质增强高反射镜的可行性研究。
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