本文首先简述了准分子激光的基本特性，回顾了准分子激光的发展历史和背景，简单概括了准分子激光的主要应用，同时，讨论了准分子激光的放电电路及其相关技术等。　　 本文在探讨了导致准分子激光输出不稳定的诸多因素后，有针对性地提出了放电泵浦准分子激光器控制系统的总体设想。在详细分析了国外各种先进技术及其技术难点的基础上开展了总体方案的设计。　　 由于准分子激光器的技术门槛，国内尚无企业介入准分子激光器生产，行业支撑匮乏。本项研究工作耗费了大量的精力用于解决多项相关的单元技术，如高压开关电源、可编程的电磁组合阀门、脉冲能量实时检测系统等等。而控制系统整体的运行的难度在于对气体快放电干扰的抑制和对相关部件的有效保护。　　 最后，本文设计了控制系统的中央控制器，并通过光纤通讯将各单元部分和控制器连接起来。系统各个部分均良好屏蔽，有效的抑制了闸流管放电时的强电磁干扰，实现了稳定的闭环控制系统。　　 系统实验于一5Hz运行的、采用火花预电离方式的KrF准分子激光器，在气体状态好的情况下，将脉冲能量波动相对标准差由4.71％降低至3.01％；在气体状态较差、放电电压较低且引入谐振腔片偏离标准位置的扰动情况下，将脉冲能量波动相对标准差由7.18％降低至3.62％，有效的提高了脉冲能量的稳定性，有助于提高准分子激光器的性能。