【摘 要】
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针对国内外对MOS器件及功率器件的需求,以及VDMOS(即纵向双扩散MOS场效应晶体管,Vertical-Double-Diffused MOSFET的缩写)优良的开关特性,本文使用SILVACO模拟软件,模拟出低
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针对国内外对MOS器件及功率器件的需求,以及VDMOS(即纵向双扩散MOS场效应晶体管,Vertical-Double-Diffused MOSFET的缩写)优良的开关特性,本文使用SILVACO模拟软件,模拟出低压条件下开关特性较好的VDMOS器件,同时得到其参数特性。功率VDMOS器件是当前热门的一项研究,本论文用SILVACO模拟VDMOS的工艺流程,如外延层材料的种类、厚度;光刻的图形区域;氧化层的厚度;注入条件、掺杂种类、掺杂剂量;刻蚀深度、范围等等,进而通过模拟器件的参数、电性能参数获得其特性曲线。通过以上的模拟,得出我们设计的VDMOS的性能是否符合要求。本文用SILVACO软件模拟的ATHENA模块模拟VDMOS工艺制作过程,并用ATLAS模块提取特性曲线,在生产单位实验流片,得出样片。具体设计方案为设计击穿电压为100 V,采用方形元胞图形,面积为17μm×17μm,导通电阻为0.2Ω的n型功率VDMOS。
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