类金刚石薄膜（Diamond-like carbon，DLC）具有许多优异的性能，其中高硬度，低摩擦系数、耐磨性等使其在改善金属管内壁性能方面得到良好的应用。利用金属管作为电极形成空心阴极放电可实现直接在管内壁沉积DLC膜，形成一种低成本的DLC薄膜制备方法。由于直流空心阴极放电沉积薄膜时放电电流较小导致沉积时间过短，致使所形成的薄膜性能较低，据此本文主要工作是研究脉冲电源驱动下金属管空心阴极放电特性及管内壁DLC薄膜的沉积。首先，通过测量直流驱动和脉冲驱动下的空心阴极放电的V-I曲线、发光图像和发射光谱等，研究了空心阴极放电的特性及放电条件对其特性的影响，并利用测得的发射光谱计算出不同放电条件下的CH和Ar+的粒子数密度比值。结果表明，脉冲空心阴极放电特性和直流空心阴极放电特性基本相同，直流放电时CH粒子数相对密度随放电电压增大逐渐减小；脉冲放电时在一定的脉冲频率下，CH粒子数相对密度随着放电电压的增大先变大后减小。其次，利用直流驱动下的空心阴极放电在金属管内表面沉积DLC薄膜，研究了不同放电电压、沉积时间、气体配比等条件对DLC薄膜性能的影响。结果表明，当前实验条件下可以成功的在金属内管上制备DLC膜。薄膜中sp3键含量随着放电电压和沉积时间的增大逐渐减少，CH4的含量过高时薄膜中sp3键含量减少。当前实验最优条件下的DLC膜厚度约为300nm，硬度约为303HV。最后，利用脉冲驱动下的空心阴极放电在金属管内表面沉积DLC薄膜，研究了放电电压、脉冲频率、沉积时间对薄膜结构和性能的影响。结果表明，放电电压和脉冲频率对薄膜中sp3键含量的影响是相互；随着沉积时间变长，DLC膜中sp3键的含量增多，薄膜的硬度和厚度变大。