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随着科技进步与社会发展,精密光学元件、光学系统的应用日益广泛。光学元件表面存在的疵病和微量杂质元素会导致光学元件损伤阈值降低,严重影响光学元件与光学系统的性能。有效检测光学元件表面疵病元素成分和微量杂质分布,对优化光学元件精密加工工艺、提高光学元件和光学系统的性能具有重要意义。本论文分析了表面疵病检测技术以及激光诱导击穿光谱技术的国内外研究现状,针对现有光学元件表面疵病元素成分检测技术的不足,结合表面疵病检测技术与激光诱导击穿光谱技术,设计搭建一套微区激光诱导击穿光谱系统(micro-LIBS),用