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脉冲功率技术在科学试验、国防、生物医学以及环境保护等领域有着广泛的应用。亚纳秒气体开关的研究源于脉冲功率技术迅速发展的要求,是脉冲功率系统关键元件之一。纳秒脉冲气体击穿特性的研究工作推动了气体放电研究领域的完善和发展,具有重要的理论和实际意义。由于气体放电过程涉及到物理结构的不同层次(包括电子、原子、分子和光子),影响因素比较多,因而还没有一个理想模型能够对放电过程进行精确描述。本文以汤森德放电理论和经典流注放电理论为基础,用有限元软件ANSYS对亚纳秒气体开关的击穿过程进行建模仿真。通过