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金属掺杂非晶碳颗粒膜在光学器件、高密度磁记录和磁性传感器等方面具有重要的应用价值。非晶碳母体中的碳-碳成键多变,我们可以通过掺入稀土金属颗粒引入磁性或电荷掺杂,以及改变制备条件来调控非晶碳母体中sp2/sp3成键比例,从而改变非晶碳母体的光学及输运性质。我们利用对向靶直流磁控溅射方法在室温下制备了Gd/C颗粒薄膜,并在300~650oC温度范围内对样品进行退火处理。高分辨透射电镜图像表明,退火温度的升高使Gd颗粒尺寸变大形成颗粒团簇,同时颗粒团簇间距增大,并且Gd颗粒团簇也逐渐出现结晶行为。选区二维