本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”(批准号：61072007)资助。近些年来随着高新技术产业发展步伐的加快,微波技术、等离子体技术和微电子技术领域的发展也有了很大的进步,并且有一体化的发展趋势。因此在研究微等离子体源的领域中,人们开始致力于研究基于微系统的小功率微波微等离子体源。此项技术在生物MEMS的杀菌消毒、小尺寸材料的表面处理、微化学分析系统、微型推进器以及微型光源等领域具有广泛的应用前景。而基于平面渐变螺旋电感耦合的微等离子体源凭借其功耗低、效率高、尺寸小、寿命长、无污染、工作稳定等特点获得广泛的关注。本论文根据平面渐变螺旋电感耦合微波微等离子体源理论,利耳谐振频率在2.45GHz的平面微带渐变螺旋天线,通过在不同条件下(真空度分别为3Torr、3.7Torr和5Torr,磁场强度分别为360G、990G和2840G)激励微波微等离子体,研究磁场加载前后小功率微波微等离子体的电特性、光特性和热特性,获得了不同实验条件下的激励功率、反射系数、等离子体光谱和阻抗等。实验研究表明,磁场强度、磁极方向、真空度等参数对小功率微波微等离子体的特性有很大影响；一般来说,磁场加载有利于小功率微波微等离子体的激励。这为小功率微波微等离子体源的进一步小型化研究提供基础。