本文研究了MOVCD系统温度控制部分。根据传统PID控制并参考国内外时滞系统研究成果、结合实际系统具体情况,对MOCVD温度控制部分进行设计。文中对变参数分段PID控制、史密斯预估控制、模糊自适应PID控制以及模糊Smith预估+PID等几种控制方法进行了研究,并在此基础上提出了单神经元自适应PID和模糊免疫PID两种智能温度控制思想,为MOCVD温度控制提供了理论参考,对实际温度控制具有较好的指导意义。针对MOCVD温度控制系统,首先得到系统温度与设定电压值的近似关系曲线图,进而建立系统的传递函数模型;根据被控对象的大惯性和纯滞后特性,选择合理的温度控制算法进行系统仿真,总结相关参数调节规律,并得出实际系统中控制参数的大致范围；最后,在实际系统中寻求最优控制参数实现该温度控制算法。仿真和实际表明,将不同的算法相互结合、取长补短的复合控制性能优于传统的PID控制算法,更容易满足系统的控制要求,为进一步研究MOCVD温度控制方法奠定了基础。