【摘 要】
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随着新一代信息技术的发展,可穿戴计算机和柔性智能终端越来越引起人们的普遍关注。高导电、具有良好柔性的石墨烯材料自然成为研究热点。围绕未来可穿戴计算机和柔性智能终端的发展,以3D打印为手段,研究了高导电三维打印石墨烯墨水的制备方法及其在场效应管中的应用研究。针对当前三维打印技术(3DP)制备石墨烯器件,采用的化学还原法有生产过程危险性大,污染性强的弊端,提出一种基于热还原法的石墨烯电子器件制造工艺方
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随着新一代信息技术的发展,可穿戴计算机和柔性智能终端越来越引起人们的普遍关注。高导电、具有良好柔性的石墨烯材料自然成为研究热点。围绕未来可穿戴计算机和柔性智能终端的发展,以3D打印为手段,研究了高导电三维打印石墨烯墨水的制备方法及其在场效应管中的应用研究。针对当前三维打印技术(3DP)制备石墨烯器件,采用的化学还原法有生产过程危险性大,污染性强的弊端,提出一种基于热还原法的石墨烯电子器件制造工艺方法,并开展了如下工作:1、提出了顶栅和背栅两种结构的场效应管的高导电石墨烯墨水的制备方法和3D可打印工艺。2、采用还原氧化法来制备石墨烯,通过Hummers’法氧化石墨单质合成氧化石墨烯(GO),以GO作为基底材料,加入一定比例的黏结剂、分散剂等添加剂来配制可用于3DP的GO墨水。3、选择3DP中简单可控的直写成型(DIW)工艺来打印石墨烯样品器件,并将其置于氩气环境下的管式电炉中,分别在200℃、500℃和800℃的温度中进行烧结还原,经过800℃热还原的还原氧化石墨烯(rGO),其方阻可降低至200 mΩ/sq以下。试验测试分析表明,配制的GO墨水可用于三维打印石墨烯电子器件,且制作工艺简单,参数可控性强,电导率高,适合通过3DP技术制备高导电集成电路器件,为石墨烯墨水制备方法及其电子器件制造提供了新的工艺技术,也为未来可穿戴计算机的发展提供了一条新的思路。
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