中国作为目前世界最大的电子产品市场,也逐渐成为越来越重要的电子集成电路生产基地,中国的半导体产业在世界半导体制造领域逐渐占有了举足轻重的地位。作为具有高附加价值的半导体集成电路制造,仅仅具有庞大的生产规模是不够的,先进的技术的研发和应用才是真正的核心竞争力。本文首先从CIM(计算机集成制造)技术在半导体集成电路制造业的重要作用入手,阐述CIM在半导体行业中的具体定义及组成。并由此引入半导体生产工厂自动化的概念。通过简单回顾工厂自动化的发展历史,介绍了半导体行业标准产生的原因及现实意义。由半导体工厂自动化主要依据的通讯,控制标准及模型,介绍了目前半导体行业标准在集成电路制造过程中的各项应用。由近几年整体产业的压力及发展方向,阐述了为什么要推出Interface-A系列标准。主要通过以目前国内领先的半导体设备制造公司的蚀刻设备为原型,通过对该设备的工艺流程和半导体行业主要标准的研究,除了设计开发了基于主流300mam晶圆集成电路制造设备的工厂自动化接口所要求的一系列基本标准之外,还进一步设计开发了Interface-A功能。Interface-A的实现,主要包括利用Web Service和XML实现的数据采集及传输,以及基于技术信息保密而产生的访问用户认证与授权管理。目前主要工厂自动化模块已经通过了台湾,韩国,新加坡及上海数家半导体芯片制造商的验收并投入生产线。Interface-A模块也已经完成了主要设计及实现,正处于集成测试阶段。近期将会作为一项工厂自动化先进数据采集解决方案推出。