静电微泵理论设计及动态分析

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作为微电子机械系统(MEMS)的重要组成部分,微流体系统是指在微观尺寸下控制、操作和检测流体的技术。微泵作为微流体的核心器件,得到了快速的发展。本文以静电微泵为对象进行较为广泛而深入的研究。分析尺寸效应的研究内容,研究微流体特性物理量的尺寸效应。给出常用物理量的尺寸效应。以固支梁为例,建立F-V类比法等效电路,给出管道的等效电路图。对于MEMS器件的研究提供依据。利用板壳理论建立微泵泵膜的变形方程,建立泵膜的自由振动方程的数学模型,分析阀单元的组成和分
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