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硅微机械加速度计是MEMS(Micro Mechanical System)传感器的研究热点之一,具有体积小、成本低、易于批量生产等优点。与其它类型的MEMS加速度传感器相比,硅微机械谐振式加速度传感器测量精度高,输出的是频率信号,可以通过简单的数字电路送入计算机,而不需A/D转换环节,因此,研究谐振式硅微加速度传感器具有重要意义。本文所设计的基于掩膜-无掩膜腐蚀技术的新型硅微谐振式加速度传感器,谐振梁位于衬底上表面,支撑梁的中性面与质量块的重心在同一平面,支撑梁与谐振梁同时成形。相比之前文献中报道