载能离子与物质相互作用的研究是物理学中一个重要的前沿性研究课题,在固体材料表面改性、薄膜合成、微电子器件超微加工、生物材料表面改性及惯性约束聚变等领域有着重要的应用。载能离子固体表面溅射、注入及相关问题的研究已经成为这一领域的热点,它不仅揭示了一些重要的科学问题,同时也与离子束表面改性、表面结构分析、离子溅射沉积薄膜等技术的应用密切相关。但受研究手段的限制,载能离子溅射沉积薄膜生长机制一直缺乏比较全面、系统的了解,因此有必要进行深入的研究,本文所要研究的重点是载能离子在固体表面溅射微观物理机理。材料受到离子轰击会有溅射等各种物理现象,可以使用LSS理论、分子动力学、Sigmund模型等多种理论研究和模拟。本文详细叙述了相互作用势的各种模型;采用普适势ZBL模型计算了Ar-Cu间相互作用,采用嵌入原子势模型计算了Cu-Cu间相互作用势,对多个铜原子之间作用给出了公式推导,并给出了相关分子动力学计算机模拟算法;详细阐述了离子与固体表面的相互作用过程实验和理论相关方面的研究进展,以及有关溅射的机理;最后离子对靶材的溅射模拟运用了SRIM2006软件,模拟结果与有关溅射机理和实验研究吻合。