论文首先从三坐标测量机的测量原理及测量的局限性入手,提出了进行三坐标机改造的必要性,从而指出了编制三坐标机位误差数据处理软件的重要性和紧迫性.论文从第二章开始,按照三坐标测量机的测量步骤,研究并建立了数据处理的数学模型和算法.其中第二章主要讲述三坐标机的初始化过程,包括开机、测头校正、确定测量平面和第一轴等一些必不可少的过程;第三章主要研究基本几何要素的测量方法和数学模型的建立;第四章主要研究几种常用形位误差的坐标评定方法,是该文的重点;第五章研究了在工程中经常碰到的曲线和曲面轮廓的测量,给出了较完善的曲线和曲面拟合的方法,并指出了如何进行测头补偿;第六章为接口设计部分,提出了一种较新颖的微机细分方法,对整个三坐标机数据采集接口电路进行了设计和分析.第七章从软件角度实现了算法,并验证了算法的正确性.论文的主要创新在于:1.找到一套基本几何要素、形位误差、曲线和曲面轮廓在三坐标测量机上进行测量的方法;2.设计了接口电路,可以动态采样;3.用C++编制了三坐标测量机测量数据处理软件,提高了软件的可修改性和可移植性.