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本文系统地研究了SiC纳米线的制备和场发射性能,探讨了SiC纳米线的场发射机制,简单对比了SiC纳米线与碳纳米管的场发射性能。
采用碳纳米管模板法成功合成了SiC纳米线,其关键步骤包括:用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术生长碳纳米管,然后用磁控溅射法在碳纳米管表面沉积Si原子,并在1100℃进行高温后退火处理。并能通过调节碳纳米管的制备参数控制SiC纳米线的形貌。且采用了SEM、Raman光谱、XPS等手段对合成的SiC纳米线进行了表征。
制备的SiC纳米线具有较好的场发射性能,开启电场约为8.0V/μm,阈值电场约为13.0V/μm。由于SiC纳米线的定向性很差,据此指出SiC纳米线除了顶端可以发射电子外,其侧面也能参与场电子的发射。
对不同形貌的SiC纳米线场发射性能的研究表明,在SiC纳米线定向性不好的情况下,长径比并不是影响场增强因子的最关键因素。SiC纳米线的场发射Ⅰ-Ⅴ曲线存在两类不连续性。一类不连续性与碳纳米管是否完全转变成SiC纳米线有关;另一类是一种场发射电流的量子化现象,是由电场渗透和量子限制效应共同导致的。由此,提出了一个SiC纳米线的场发射机制:由于电场的渗透作用,使SiC纳米线的表面能带发生弯曲,这可使导带边处于费米能级以下,从而使大量电子积累在端部或侧边,由于量子限制效应使这部分电子的能量发生量子化;不同电场强度下,电子在各能级间的布居情况显著不同,且不同能级上的电子透射系数相差较大,由此导致了发射电流的量子化现象。
不同阴阳极间距对SiC纳米线场发射性能有较大影响。阴阳极间距增加有效发射面积也随之增加,最后趋于一个常数,而且场增强因子与阴阳极间距也有类似的依赖关系。
场发射过程中SiC纳米线在高电场的作用下出现了负微分电导现象,并提出了一个碰撞离化模型进行了解释。场发射时,电子在强的电场作用下会形成过热电子,在SiC纳米线的输运过程中会碰撞杂质中心和晶格并使他们离化,这使SiC纳米线的电导率显著变大。因此在大的场发射电流情况下降落在真空和SiC纳米线上的分压不再随高压源的输出电压升高而升高,相反由于输出电压大部分降落在保护电阻上,反而降低,由此出现了负微分电导现象。此外碰撞离化模型还可用来解释SiC纳米线场发射过程的电子供应机制。
对比相似形貌的SiC纳米线和碳纳米管的场发射性能表明,SiC纳米线具有更低的开启电场,在假设他们具有相同的场增强因子后,通过碳纳米管的功函数估算了SiC纳米线的有效功函数,发现其功函数比碳纳米管低很多,约为2.0eV。