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差动共焦扫描显微技术以其非接触和层析能力强,在物体表面三维轮廓测量领域具有很好的应用前景,因而受到相关研究领域的广泛关注。本课题在搭建差动共焦系统的实验平台的基础上,对其光电探测技术,瞄准触发技术以及计算机控制技术进行了深入的研究。其相关技术的研究对实现差动共焦系统的应用领域扩展具有十分重要的作用。本文主要研究内容包括以下几部分:在深入分析差动共焦显微轴向响应特性的频谱特性的基础上,设计了面向差动共焦显微成像的光电探测电路,该探测电路相位失真小,灵敏度高,且对光路中的高频噪声具有