本文所要讨论的静电感应光电探测晶体管(SIPT)是一个新型固态光电器件,它可以看成是由一个SIT和几个PIN光电探测管组成的,这是一个具有电流放大作用的光敏探测器件,本文就从静电感应晶体管原理以及光电探测器件中的光电二极管,光电PIN管着手,进行定性和定量的描述,为光电探测器件SIPT的结构和物理意义开展讨论打下基础。 本文对SIPT进行了计算机模拟,对照模拟的光电流与暗电流,参考载流子的分布图,分析了新型结构器件SIPT的性能、工作原理以及Ⅰ-Ⅴ特性等等,对后来的器件设计,具有一定规律性的指导意义。 本文紧接着进行了SIPT器件的设计,重新设计版图和工艺参数,再经实际工艺投片实验,并对其电参数进行测试,分析了实验结果和模拟结果,最后得出了结论,从中探索静电光敏感应晶体管的光电作用机理以及预测其应用前景。