【摘 要】
：
近年来随着信息技术的不断发展,社会对于显示技术的需求也越来越大。TFT-LCD(Thin Film Transitor Liquid Crystal Display薄膜晶体管液晶显示技术)以其轻薄化,成本和寿命等
论文部分内容阅读
近年来随着信息技术的不断发展,社会对于显示技术的需求也越来越大。TFT-LCD(Thin Film Transitor Liquid Crystal Display薄膜晶体管液晶显示技术)以其轻薄化,成本和寿命等优点成为市场上的绝对主流。国内的液晶面板行业在过去十年期间发展迅速,大世代线基本以a-si(非晶硅)技术为载体进行生产,由于a-si电子迁移率较低,需要更大的金属线宽进行信号传送,具有开口率和亮度比较低的弱点,为应对更大尺寸、更高亮度和柔性显示等要求,催生了COA(Color filter on Array阵列基板上的彩色滤光片工艺)技术的需求。在COA制程的VIA光刻工艺中,由于Array的VIA需要在CF Open中进行开孔,CF色阻3μm的膜厚在CF Open区域形成了凹陷,造成Array VIA曝光区域内的实际光刻胶厚度比设计值更厚,影响了生产节拍和产能,并且恶化了VIA制程CD(Critical Dimension特征线宽)均一性。因此本文对COA制程中VIA的光刻工艺各步骤进行分析,包含清洗单元、光刻胶涂布、减压干燥、预烘烤、曝光制程、显影制程等,并且通过实验进行逐一分析。1.光刻胶厚度研究:降低光阻膜厚至1.8μm可有效降低Dose(曝光能量)约4m J左右。2.预烘烤温度研究:通过调整预烘烤温度,VIA CD/温度的比率大致为-0.21μm/10度。3.曝光能量研究:曝光能量在CD 5.4-6.6μm范围内,与CD呈现线性关系,变化系数为0.075μm/m J。4.显影液浓度研究:显影液浓度对CD变化贡献最为显著,显影浓度从2.38%提升到2.42%可使曝光机Dose下降21m J。最终拟定改善条件为提升显影浓度至2.42%,带来的生产节拍提升经济效益107万/月。对于CD均一性的改善,本文从改善曝光机的最佳焦平面进行研究,分析曝光机曝光时的focus动态计测和补偿及其缺点,提出了一种对Chuck的平面度进行全面量测和补正的方案。并且进一步进行曝光焦平面手动优化。通过以上两种方法,将CD的整体方差从0.287改善到0.194。本文的研究,为业界后续对VIA CD的调整和产能提升方案提供了有力的依据,并且从曝光机的角度对CD均一性的改善提供了一种新的调整思路和设备管理方法。
其他文献
自润滑关节轴承是一种无需添加润滑剂就可实现自润滑的轴承,其在航空航天、工程机械、矿山机械等领域应用广泛。自润滑衬垫作为自润滑轴承的关键组成部分,其力学性能是影响自润滑关节轴承润滑性能和摩擦磨损性能的主要因素。因此,为提升自润滑关节轴承的摩擦学性能,有待进一步开展织物型自润滑衬垫力学性能研究。本文主要研究自润滑衬垫压缩力学性能,通过建立自润滑衬垫的压缩本构关系模型,实现对衬垫力学性能的预测。自润滑衬
“复制-粘贴-修改”是软件开发过程中的一种常见操作,这一操作通常会带来大量的代码重复,这些相同或相似的代码片段被称为克隆代码。代码克隆检测的目标就是从软件系统中检测
网络流量预测作为网络管理领域的研究热点,一直受到研究人员的关注。传统的单一模型不能全面刻画复杂网络流量的自相似性、长相关性等特征,分解重构、组合预测成为网络流量预
Phoma寄主范围极为广泛,危害药用植物、观赏植物以及经济作物等几十个属的上百种植物,可以对寄主的各个部位进行侵染,导致作物产量下降、品质降低,甚至死亡,造成巨大的经济损失。本文主要针对东北地区由茎点霉引起的病害进行了采集与研究,本试验主要围绕东北三省共8个地区,共采集到31科69种病害标本。对上述病害标本以及实验室中未鉴定到种的4个菌株进行鉴定,最终获得了15与Phoma相关的菌株,分布于2属1
在冬季低温的影响下,我国北方村镇的污水处理工艺中的微生物活性降低,引起处理能力减弱,导致出水污染物不达标的现象。曝气生物滤池(BAF)具有占地面积少和出水水质好的优点,是适用于农村污水处理的优选工艺。但是该工艺存在硝化性能易受有机负荷影响以及除磷效果不佳等诸多不足。本试验在低温的条件下,采用陶粒、沸石、石灰石以及富铁填料等复合填料体系,研究该工艺的脱氮除磷效能以及微生物群落多样性。试验首先考察了缺
双目视觉是计算机视觉技术的一个重要方向,在一般自动化及智能化系统中有广泛应用。利用双目视觉技术对并联机构动平台位姿进行检测,具有方便、灵活和精度高的特点。然而对于存在环境光、阴影、无关实体和杂乱背景干扰下的复杂环境中拍摄的图像,由于难以准确、高效的对图像特征进行提取,利用双目视觉对动平台位姿的检测结果不尽理想,且没有通用的解决方法。针对该问题本文:(1)设计了一种新型自编码标识物,提出了一种基于坐
过渡金属硫化物(TMS)因其具有独特的物理和化学性质以及较高的理论比容量,被认为在作为锂离子电池负极材料方面很有潜力。但其存在的导电性不佳,在充放电过程中循环、倍率性能差等问题,限制了其作为锂离子电池负极材料的应用。为解决这一问题,将过渡金属硫化物与石墨烯复合是常用的方法。本文通过简单的两步水热法制备了具有三维立体结构的3D MoS_2/RGO复合材料;以及采用合理的合成策略,通过水热法制备了Co
巴豆醛生产废水有机污染物浓度高、生物处理毒性强,属于典型的高浓度有毒有机废水,直接排入综合污水处理厂会对生物处理单元造成冲击,影响其稳定运行。针对上述难题,本研究以去除巴豆醛生产废水中毒性有机物、降低巴豆醛生产废水生物处理毒性、保障后续生物处理工艺稳定运行为目的,重点解析了废水水质特征及厌氧生物处理毒性,并识别出废水中对厌氧微生物具有抑制作用的特征有机物;进一步研究了巴豆醛生产废水的臭氧-水解酸化
在职业类院校建设中,实验实训项目是学生培养的重要软硬件条件。它们很大程度上促进了学生应用性技术的培养,同时也确保了学院整体水平的提升,在职业类院校的发展中起着十分
犯罪预备作为犯罪未完成形态中不可或缺的一部分,现有的理论研究并不深入,专业著作也很少,司法实践中预备犯也并不多见,可见无论是在理论还是实践上,其受重视程度远低于其他