液/固态源扩散对晶硅材料掺杂的研究

来源 :南京航空航天大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户：wind503

【摘要】

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【作者】

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杨楠楠

【出处】

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南京航空航天大学

【发表日期】

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2017年01期

【关键词】

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SiO2纳米球富硼层扩散均匀性扩散结深少数载流子寿命

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