共轨供油系统单体泵是发动机中的一个关键部件,发动机工作过程中,单体泵表面处于高温、高压、易磨损状态,采用表面涂层的方法解决单体泵表面耐磨损、耐高温、防腐蚀问题,是提高发动机使用寿命的关键。本文正是根据××用户需求而进行的在共轨供油系统单体泵材料试件的表面制备α态Al₂O₃硬质薄膜技术的研究。Al₂O₃薄膜是近几年来国内外研究较为广泛的一种超硬薄膜材料,由于具有耐高温（使用温度可达800℃,甚至达到1000℃）、耐腐蚀、高硬度以及高的机械强度等性质,因而使得其具有广阔的应用领域和市场前景。近年来,随着机械工业的快速发展,对Al₂O₃膜的耐高温性能和高硬度性能提出了越来越高的要求,Al₂O₃膜热稳定性和高硬度成为研究的热点。本论文采用磁控溅射的方法制备了Al₂O₃硬质薄膜,并采用了一系列的表征手段,研究了Al₂O₃硬质薄膜的热稳定性和硬度。在磁控溅射方法制备Al₂O₃膜的过程中,不同的制备条件会使得膜的微观结构性能产生差异。本文研究得到:采用磁控溅射方法制备Al₂O₃膜时,选取一定的真空度、温度、蒸发的电压、电流以及氩气与氧气的比值,就可以制备得到微观结构性能相对比较好的Al₂O₃硬质薄膜。研究分析表明:Al₂O₃膜在煅烧温度为1000℃以内时,物相组成是一致的,分别为β-AlOOH （400℃）、γ- Al₂O₃ （400¹000℃）,当煅烧温度达到1150℃时,Al₂O₃膜的物相组成都是α-Al₂O₃。在500℃～1000℃之间没有明显的热变化,在1150℃以上,纯Al₂O₃膜发生了相转变（γ-Al₂O₃向α- Al₂O₃的转变）。Al₂O₃膜是由Al-O网络构成。致使Al₂O₃膜在高温中有好的微观结构性能。α态Al₂O₃具有很高的硬度,能够满足共轨供油系统单体泵表面耐磨损、耐高温、防腐蚀问题、提高共轨供油系统单体泵的使用寿命。