ZNS基底红外多波段滤光膜的研究与制备

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wcfsoa2009
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根据红外军用探测仪窗口的特殊使用要求,本文选择了CVDZnS作为基底镀制多波段滤光膜,用以满足在1064±15nm处透过率为65%,3~5μm波段范围内的平均透过率高于90%,380nm~980nm波段平均透过率小于5%同时在1.2~2.7μm波段范围内实现平均截止度不低于80%。根据多层膜设计理论,利用TFCalc和Macleod光学薄膜设计软件,结合多波段的特殊要求,综合镀膜材料的特性对膜系进行设计优化。采用电子束蒸发兼离子辅助沉积技术,不断调整工艺参数,降低膜厚控制误差。最终在CVDZnS基底上镀制出能满足使用要求的红外多波段滤光膜。通过测试,该滤光片光学性能达到预期技术参数,牢固度较好、制备重复性好,可以承受恶劣的环境测试,完全满足了探测仪窗口的使用要求。
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