水体污染已被认为是人类生存环境主要威胁之一，对其进行监测和控制势在必行。氧化还原电位、pH、电导率、温度等作为反应水质好坏的重要参数，在环境水质检测中是必须要求的。目前对这些指标的检测主要依赖于现场采样和单独检测分析，不能获得实时、连续的数据，因此研制出小型的、多参数集成、易于维护、检测迅速准确，能适应复杂、恶劣的现场检测环境且成本低的在线检测传感器，将会给水质监测提供极大的便利。参比电极作为稳定电位的提供者在电化学测试中不可或缺，而实现参比电极的集成化将有效解决传感器集成化、微型化的问题。本论文主要是利用MEMS工艺制作出Pt集成微电极，通过电化学修饰，制备了IrOx金属氧化物的pH测试电极；在集成微电极的一个裸露电极上制备一层Ag/AgCl薄膜，用聚二甲基硅氧烷（PDMS）形成微空腔对内参比液进行封装，形成了集成参比电极；最终以电化学检测的方法，实现对水体温度、电导率、氧化还原电位和pH值的在线实时测定。本论文主要完成了以下工作：1.传感器的设计与制作：基于微细加工技术的特点和电化学修饰电极的基本原理的综合考虑，设计了集成微阵列传感器的加工工艺流程及电化学修饰电极的步骤，完成了集成传感器的制备；2.集成参比电极的性能测试：用电化学工作站对集成的参比电极的电化学性能进行测试，伏安特性曲线显示了很好的重复性、稳定性和可逆性；并对该参比电极电位的稳定性、重现性及电极电位对氯离子和温度的响应均做了测试，实验结果表明：参比电极电位漂移在0.2mV内且具有较高的重现性，对氯离子和温度均符合能斯特响应；3.微阵列传感器的测试：基于电化学工作站分别对pH、氧化还原电位、电导率和温度传感器分别做了测试，实验结果表明：pH传感器的能斯特斜率达-78.19mV/pH，具有较高的灵敏度且响应时间一般为3~5s；在校准液中氧化还原电位的标准斜率为0.99733，接近于理论值1.0000，可以准确的表征水体氧化还原电位值；电导率传感器的电极常数为2.723，可以对一般水体的电导率进行测定；Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好，TCR值为0.00190Ω/℃，满足温度测量精度的需求；4.传感器的应用：基于GPRS技术建立的在线测试平台对青草沙水域的水质进行监测，实现了监测的实时性和在线性。