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A1N薄膜具有很多优异的物理性质,如高的热导率、高的硬度、高的声表面波传播速度、高电阻率、较好的压电性、宽的能隙值等,因而在电子领域具有非常广泛的应用。由于A1N晶体具有各向异性,不同择优取向的A1N薄膜的力学、电学、光学等性能会有明显差异,通常(002)取向的A1N薄膜比较难以得到,A1N薄膜的取向生长机制也不太清楚,为了成功实现A1N薄膜的应用,不仅需要研究其电学、光学等性能,也需要深入研究其力学性能,因而在制备A1N薄膜的基础上,研究其组成、微观结构、形貌及力学性能对于A1N薄膜的应用具有重要