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材料的热物理性质通常包括热膨胀系数、热导率、热容等。对于块材而言,其热物理性质参数与材料的几何参数无关,是材料本身的属性。但是,随着器件结构趋于集成化和小型化,MEMS器件的尺寸一般在几微米到几百微米之间。如此小的尺寸使得器件所用材料的热物理性质参数会随着加工工艺的不同而有很大的不同。因此,研究薄膜热物理性质对于MEMS器件具有重要的意义。本论文基于微尺度热传输理论,着重研究了薄膜的热膨胀系数、热导率和热容等热物理参数的测量方法。本论文论述了微尺度热分析理论及其发展现状,并分章介绍了薄膜