感性耦合等离子体源(Inductively coupled plasma,ICP)是微电子刻蚀工艺中常用的高密度等离子体源之一。随着半导体芯片的集成度越来越高,器件的特征尺寸不断缩小,工业上对刻蚀等工艺的要求也越来越严格。为满足这些要求,人们提出使用脉冲调制射频等离子体。这是因为脉冲调制射频等离子体中,在脉冲关闭阶段,等离子体体区的负离子能够扩散到刻蚀槽表面,中和其表面积累的正电荷,从而减弱等离子
橄榄石(forsterite)被认为是上地幔和过渡态区域最普遍和最富集的矿物。本文以密度泛函理论为基础，利用第一性原理计算方法，研究含水、含铁及其含水、铁的α相(olivine)、β相(
初生和扩散时段的激光烧蚀等离子体,特性差异很大。初生时段是指激光持续期及之后的极短时间(数十纳秒)。在这个时段内,等离子体刚刚形成,还未来得及扩散,无论其气压还是密度都很高,因而是高密度热等离子体。等离子体的体积很小,而且演化很快,时空分布极不均匀。而扩散形成的羽流等离子体,则是低气压非平衡低温等离子体。本文针对激光烧蚀初生期的特点,提出了一种基于电动势效应的激光烧蚀等离子体诊断方法,设计了两种不
近年来,二元光学元件由于具有高衍射效率、独特的色散特性、高设计自由度及宽广的材料可选性等独特的性能,促进了光学系统实现集成化,微型化和阵列化,开辟了光学发展的新领域
隐喻作为一种认识世界的方法,在两千多年跨度的研究中,一直是人们所研究的对象,不仅在社会学、文化学、文学等领域倍受关注,近年来,学者们又将线转移到了设计学中来。本文就
太阳能光伏发电已经作为一种可持续能源，并于近几年迅速发展。主要由于太阳能作为一种安全清洁，并且可永久利用的能源，其发展潜力是无穷的。现在主要使用的太阳能电池分为三种，其